支援活用事例
ナノレベルのSiC研磨技術で世界へ（戦略的基盤技術高度化支援事業（サポイン事業）支援事例）
事業者名
不二越機械工業株式会社
事業内容
半導体・電子材料加工装置および周辺装置の開発・製造・販売、電子材料の切断・研削・研磨加工
事業者データ
- 代表者／市川 大造
- 所在地／長野市松代町清野1650
- 従業員数／224名
- 連絡先／026-261-2000（代表）
- URL／https://www.fmc-fujikoshi.co.jp/
活用した補助金・支援制度等
戦略的基盤技術高度化支援事業（H31～R3年度：サポイン事業（現Go-Tech事業）：経済産業省）
企業の現状及び支援の経緯
同社は、電化製品の半導体の基盤となるシリコンウェハの表面を極限までフラットに磨く機器を中心に開発製造を行っています。その中でも新しい素材に合わせた装置の開発に挑戦し続けており、様々な補助金も活用しながら研究開発を進めてきました。その中の一つとして、戦略的基盤技術高度化支援事業（以下サポイン事業/経済産業省）に採択されました。
実施した支援内容
パワー半導体材料でもあるSiCは科学的にも安定な材料ですが、非常に硬く、生産性が悪くコストがかかります。そこで、同社の技術を生かした「切断から仕上げ研磨」に至る工程に着目し、高い生産性を持つ加工技術とともに生産性を高めることを目標に掲げ、新たな機器開発に着手しました。共同体として産業技術総合研究所・秋田県産業技術センター・埼玉大学に参画いただき、3年間の事業期間中、事業管理機関として研究面、経理面の伴走支援を行いました。
支援の結果及び今後の展開等
Go-Tech事業に採択されたことで注目を浴び、計画どおりに研究開発を進めることができ、本来の目標だけでなく、他の材料への応用やターゲットとしていた販路以外の方からも問い合わせをいただいています。
参画機関
国立研究開発法人産業技術総合研究所
秋田県産業技術センター
国立大学法人埼玉大学
担当部署
公益財団法人長野県産業振興機構 グリーンイノベーション推進部
〒380-0928 長野市若里1-18-1（長野県工業技術総合センター３階）
[TEL]026-217-1634 [FAX] 026-226-8838
[Email]green-innv[at]nice-o.or.jp
※[at]は＠に置き換えてください
支援を受けて
・長野県産業振興機構（当時長野県テクノ財団）が事業の窓口・取りまとめをしていただき助かりました。
・Go-Tech事業の採択が宣伝効果にもなり、挑戦して良かったです。
・開発費を捻出するのが大変な場面でも補助金があることで研究開発に注力できました。
開発担当者
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